Springer Series in Advanced Microelectronics15- Photoresist Technology in Microsystems: Principles, Processes and Applications

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À propos de ce produit

1. Introduction to Photoresist Technology.- 2. Fundamentals of Photoresist Chemistry.- 3. Microsystems Fabrication Processes.- 4. Advanced Photoresist Materials for Microsystems.- 5. Photoresist Processing Techniques.- 6. Photoresist Applications in Microsystems.- 7. High-Aspect-Ratio Lithography for Microsystems.- 8. Challenges in Photoresist Technology for Microsystems.- 9. Emerging Trends in Photoresist Technology.- 10. Future Perspectives.

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